ARCHIV: Industrielle Halbleiterfertigung: IHLF

Die Studierenden lernen die wesentlichen technologischen Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen kennen.

Neben Kenntnissen über das Marktumfeld und grundlegenden Prinzipien der Herstellung von Halbleiterbauelementen werden die verwendeten Werkstoffe besprochen und die Grundfunktionen der Bauelemente wiederholt. Es werden die Einzelprozesse besprochen und deren Integration zur gesamten Produktion behandelt. Zusätzlich wird über Backendprozesse, elektrische Prüfungen und die wichtigsten werkstoffanalytischen Untersuchungsverfahren, die bei der Beurteilung des Prozesserfolges wichtig sind, informiert.

Die Vorlesung wird durch einen Laborbesuch bei einem sächsischen Hersteller ergänzt.