Halbleitertechnologie/Prozessintegration

Die Prozessintegration, d. h. die sinnvolle Zusammenstellung der Einzelprozessschritte, um einen integrierten Schaltkreis zu generieren, steht im Mittelpunkt dieser Lehrveranstaltung. Ausgehend vom MOS-Kondensator werden die jeweils notwendigen Prozessfolgen in einer Art technologie-chronologischen Reihenfolge erarbeitet.

Die komplexen Zusammenhänge bei den unterschiedlichen Technologien zur Erzeugung von S-RAM und Logik Schaltkreisen in N-MOS und C-MOS Technik sollen erfasst werden. Der Zusammenhang zwischen der physikalischen Funktion des Bauteils und der Methodik der Herstellung wird anhand der modernen selbstjustierenden Prozesse besonders deutlich.