Werkstoffe der Mikroelektronk und Mikrosystemtechnik

In der Mikroelektronik, wie in allen Mikrotechnologien, wird die Entwicklung momentan vorrangig von der Entwicklung neuer Werkstoffe bzw. durch das Entwickeln und Ausreizen von Bearbeitungs- und Herstellungstechnologien altbekannter Materialien bestimmt. Dazu ist es notwendig, den Aufbau von Festkörpern und ihrer Eigenschaften von den Grundlagen her zu verstehen. Die Vorlesung vermittelt diese Grundlagen aus der Sicht der Mikrotechnologien. Sie vermittelt Kenntnisse über die relevanten altbekannten und auch der modernsten Materialien der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. Sie zeigt auch die Möglichkeiten auf, Werkstoffe nach Maß zu entwickeln.