Vakuumtechnik

Vakuumprozesse spielen in der Halbleitertechnik eine dominierende Rolle. In dieser Vorlesung sollen die zum Verständnis dieser Prozesse notwendigen vakuumtechnischen Grundkenntnisse vermittelt werden. Hierzu zählt die Gaskinetik, Vakuum- und Strömungsbereiche, Pumpprinzipien und Pumpenausführungen, Vakuum- und Gasströmungsmessung. Das erworbene Wissen ermöglicht sowohl ein eingehendes Verständnis der physikalischen Vorgänge in einem Vakuumprozess als auch ein Vorstellungsvermögen über Kosten und Nutzen von Vakuumanlagen.