Mikrotechnologie

!!!Wichtige Informationen zur Durchführung der Lehrveranstaltung "Mikrotechnologien" im WS2024/25!!!

Die Vorlesungen finden bis aus Weiteres hybrid statt. Das heißt, die Präsenzveranstaltung wird ermöglicht. Zeitgleich werden die Veranstaltungen aber auch über Zoom gestreamt, aufgezeichnet und danach an geeigneter Stelle allen Studierenden zur Verfügung gestellt. Das Abrufen der Videos erfordert die Einschreibung in die "Kursgruppe Mikrotechnologie WS2024/25".

Für die Online-Veranstaltungen benutzen wir Zoom. Hier finden Sie den Teilnahme-Link. Dieser ist permanent, das heißt für alle kommenden Online-Veranstaltungen gültig:

https://tu-dresden.zoom-x.de/j/62234354082?pwd=4e2qzsr6pFtkjLsDCEaPHb2aTneZ70.1

Dargestellt werden die grundlegenden Prinzipien zur Herstellung und Miniaturisierung von Bauelementen und integrierten Schaltkreisen sowie Mikrosystemen. Dies beinhaltet die Wirkungsweise der Einzeltechnologien und deren Zusammenwirken zu einfachen Prozessabläufen.

Inhalt des Lehrfaches:

• Einleitung
• Kristallzüchtung
• Lithographie
• Schichtherstellung
• Reinigung und Strukturierung
• Planarisierung
• Dotierung
• Prozessmodule der Mikroelektronik
• Prozessmodule der Mikrosystemtechnik
• Prozesskontrolle
• Ausblick