Mikromechanische Komponenten (MMK)
TU Chemnitz, Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | Summer semester
Mikromechanische Komponenten (MMK)
Lehrinhalte:
- Funktions- und Formelemente der Mikromechanik
- Modellierung und Simulation mikromechanischer Komponenten
- Beschleunigungs- und Schwingungssensoren
- Drehratesensoren
- Drucksensoren
- Mikromechanische Aktuatoren
- Fluidische Mikrosysteme
- Übungen zu ausgewählten Kapiteln
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