Schichtmesstechnik

Die Charakterisierung eingesetzter Substrate, hergestellter Schichten und Mikro­strukturen ist eine Voraussetzung für ihre Integration in Prozessfolgen und essentiell für die resultierenden Eigenschaften der damit hergestellten Bauelemente und Systeme. Die Lehrveranstaltung stellt Verfahren zur geometrischen, mechanischen und stofflichen Charakterisierung von Substraten, Schichten und mikrostrukturierten Objekten vor. Ergänzend wird eine Einführung in die PC-gestützte Messplatz­steuerung gegeben.