Mess- und Prüftechnik für MST

TU Chemnitz | semesterübergreifend Mess- und Prüftechnik für MST
  • Prüf- und Messverfahren zum berührungslosen Messen von mikromechanischen Komponenten
  • Ermittlung geometrischer Strukturdaten (Länge, Breite, Höhe, Volumen, Winkligkeit) sowie statischer und dynamischer Systemkennwerte (Auslenkung, Amplitude, Eigenfrequenz, Amplitudengang, Phasengang)
  • Simulation der Systemeigenschaften auf der Grundlage von Messwerten durch Modalanalyse
  • lichtoptische Messverfahren
  • Messsysteme nach Fokussierungs-, Triangulations- und Interferenzprinzip
  • Schwingungsmesstechnik in der Mikrotechnik
  • Zweikanalanalyse, FFT, Modalanalyse
  • Modifikation und Simulation am modalen dynamischen Modell
  • Praktika zu Messverfahren in der Mikrosystemtechnik
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