Multimediabasierte Aus- und Weiterbildung in den Fachgebieten Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik „MIKROMEDIA“ Modul: Entwurf von mikromechanischen Sensoren und Aktoren (MEMS)

Details

Sächsisches Staatsministerium für Wissenschaft und Kunst (SMWK)

Projektzeitraum: 01.07.2001 bis 31.12.2002